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2卷些圖形進(jìn)行感光，進(jìn)而加工出表面微納結(jié)構(gòu)。1．1基本原理本文中主要研究的是勞厄激光干涉光刻系統(tǒng)，其原理如圖1(a)所示，當(dāng)2束波長(zhǎng)為λ，強(qiáng)度同為I0的平面波分別以相同的入射角θ對(duì)稱(chēng)地射到同一平面，該平面的光強(qiáng)分布可以寫(xiě)為I=2I0［1+cos(2kxsinθ)］，(1)式中k=2π/λ。因此，可在垂直于x軸方向的平面上形成光柵線(xiàn)條圖案，其周期為p，可以寫(xiě)為p=λsinθ．(2)對(duì)于涂有光刻膠的襯底進(jìn)行一次曝光后可以形成周期性的光柵結(jié)構(gòu)。從公式(2)可以看出，光柵的周期由入射角和入射光波長(zhǎng)決定，當(dāng)入射光波長(zhǎng)一定時(shí)，入射角越小，光柵周期越大;相反矩形線(xiàn)圈-數(shù)控滾圓機(jī)電動(dòng)液壓滾圓機(jī)滾弧機(jī)價(jià)格低張家港滾壓機(jī)多少錢(qián)，則光柵周期越小，如圖1(b)所示。如果將涂有光刻膠的樣品進(jìn)行一次曝光后，將其旋轉(zhuǎn)90°可以以同樣的條件進(jìn)行二次曝光，在理想情況下，干涉場(chǎng)內(nèi)的光強(qiáng)分布可以寫(xiě)為I)在分別垂直于x，y軸2個(gè)方向的光柵焦點(diǎn)上，可以得到均勻分布的點(diǎn)陣列矩形線(xiàn)圈-數(shù)控滾圓機(jī)電動(dòng)液壓滾圓機(jī)滾弧機(jī)價(jià)格低張家港滾壓機(jī)多少錢(qián)，其中，2個(gè)方向周期均為p。而在工藝過(guò)程中，如果通過(guò)對(duì)于曝光劑量的控制，以及2次曝光設(shè)置不同參數(shù)，可以得到更為豐富的表面結(jié)構(gòu)［

www.suoguanjixie.name 9，10］。(a)%2束相干光在樣品表面光刻膠層形成周期性光強(qiáng)分脈沖渦流矩形傳感器是近年來(lái)渦流無(wú)損檢測(cè)的研究熱點(diǎn)。采用Comsol有限元仿真軟件建立了矩形探頭有限元仿真模型,并且根據(jù)仿真結(jié)果設(shè)計(jì)了矩形探頭進(jìn)行缺陷檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。通過(guò)仿真和實(shí)驗(yàn)的對(duì)比分析,結(jié)果表明:矩形探頭長(zhǎng)寬高尺寸在2∶1∶1.5的比例下靈敏度、線(xiàn)性度最佳。2電流設(shè)定與其他參數(shù)說(shuō)明圖2為線(xiàn)圈的俯視圖。激勵(lì)電流密度大小定義變量為其中，N為線(xiàn)圈的匝數(shù)，0．5為設(shè)定的電流大小，t為時(shí)間，A為線(xiàn)圈的橫截面積，T表示線(xiàn)圈的厚度，實(shí)驗(yàn)設(shè)定為3mm，H為線(xiàn)圈的高度，d為漆包線(xiàn)直徑，擬定為0．3mm。按照逆時(shí)針?lè)较蛟O(shè)定電流密度方向，磁場(chǎng)方向z軸為正向。按照?qǐng)D示①～⑧的順序?yàn)楦鱾�(gè)線(xiàn)圈添加外部電流密度，此模型的電流只需要添加x，y2個(gè)方向，z方向始終為0。如模塊1，只在x方，相對(duì)磁導(dǎo)率為1，電導(dǎo)率為σ=3．774×107S/m。激勵(lì)電流幅值大小為0．5A，頻率為100Hz。傳感器放置在試樣上方0．5mm處，即提離高度為0．5mm。2仿真實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析本文采用單因素輪換法進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)，即控制矩形線(xiàn)圈的2個(gè)變量不變，改變另外一個(gè)變量來(lái)探究傳感器的靈敏度。首次實(shí)驗(yàn)保持長(zhǎng)寬相等，改變高度來(lái)仿真，即按比例變化為1∶1∶h，h表示變化的高度，取值從1變化到2，每次遞增0．25。比例基值為20mm，線(xiàn)圈厚度 矩形線(xiàn)圈-數(shù)控滾圓機(jī)電動(dòng)液壓滾圓機(jī)滾弧機(jī)價(jià)格低張家港滾壓機(jī)多少錢(qián) www.suoguanjixie.name